主從動(dòng)轉(zhuǎn)子間有3個(gè)間隙，分別是主從動(dòng)轉(zhuǎn)子齒頂與齒底之間形成的徑向間隙、主從動(dòng)轉(zhuǎn)子相互嚙合的斜齒面之間形成的間隙，以及主從動(dòng)轉(zhuǎn)子相互嚙合的凹齒面之間形成的間隙。然后就是主從動(dòng)轉(zhuǎn)子齒頂與泵腔內(nèi)壁之間形成的周向間隙。

在抽氣過程中，從進(jìn)氣口到排氣口，壓力逐漸升高；因?yàn)檫@些返流間隙，被抽氣體會(huì)通過它們，從排氣口高壓側(cè)向進(jìn)氣口低壓側(cè)反向流動(dòng)，形成返流，進(jìn)而影響到螺桿鼓風(fēng)機(jī)的抽速與真空度。螺桿鼓風(fēng)機(jī)在設(shè)計(jì)制造過程中，如果這個(gè)返流量控制得越小，那真空泵的實(shí)際抽速就越大，所能達(dá)到的極限真空度也就越高；反之，抽速與真空度都會(huì)變差。

在這些間隙中，主從動(dòng)轉(zhuǎn)子與泵腔內(nèi)壁之間的周向間隙大小變化，對(duì)返流的影響最為明顯（由此形成的泄漏通道面積占總泄漏面積的70%以上）。而主從動(dòng)轉(zhuǎn)子之間的徑向間隙、凹齒面間隙及斜齒面間隙變化則對(duì)返流的影響則要遠(yuǎn)遠(yuǎn)小得多。因此，螺桿鼓風(fēng)機(jī)設(shè)計(jì)生產(chǎn)及裝配中，需要更嚴(yán)格地控制轉(zhuǎn)子與泵腔內(nèi)壁之間的間隙。

具體的轉(zhuǎn)子間隙設(shè)置中，間隙越大，返流越嚴(yán)重；間隙越小，返流越少。但并不是說，間隙就越小越好。一方面受泵腔內(nèi)溫升影響，轉(zhuǎn)子會(huì)出現(xiàn)熱脹冷縮的情況；同時(shí)，常見的轉(zhuǎn)子間隙從0.5mm減少到0.3mm時(shí)，返流會(huì)大幅減少，但從0.3mm到0.2mm，這種減少就會(huì)變緩，再到0.1mm，變化就更加細(xì)微了。因此需要考慮到這些方面，以及加工上的限制，而不是一味地求小。