當干式螺桿真空泵需要關停時：

首先要做的是關閉真空泵進氣端的主閥；

關閉進氣閥門后，如果真空系統抽的介質涉及水蒸氣、可凝氣體、腐蝕氣體、或者固體顆粒等成分，這時需要開啟吹掃系統進行清理。這個步驟根據干式螺桿真空泵遇到的不同介質，分若干不同情況：

如果是水蒸氣、溶劑、灰塵等，打開吹掃閥，在氣體沖洗入口充入氮氣等惰性氣體，讓真空泵空載運行20～30分鐘，使真空泵恢復清潔、干燥的狀態；

如果是可凝介質、粘性固體，則需要在溶劑清洗入口以0.5～2L/min的速度注入對應清洗液，對泵內實施清洗。結束后再在氣體沖洗入口充入惰性氣體，執行氣體沖洗步驟，使泵內恢復清潔干燥；

吹掃步驟完成后，關閉吹掃閥門，然后關閉電機停機；

停機后再關閉氮氣閥門；

然后確認冷卻水進出溫差不大后，關閉冷卻水閥門；這里需要注意，如果環境溫度存在可能結冰的情況時，需要通過排泄閥排凈泵內及管線內的冷卻水，以防止結凍。

最后打開出入口排污閥，檢查是否有冷凝液存在。檢查完畢后，才算是完成了干式螺桿真空泵的整個停機步驟。